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Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 1200

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詳細信息Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 1200

渦輪分子泵 HiPace 1200

Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 1200
上海伯東銷售維修德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可達 1250 l/s 的高性能渦輪分子泵. 對各種氣體均有高抽吸能力, 高工藝適用性, 防止進入顆粒. 集成驅動電路, 適用于工業環境, 通過保護等級 IP54. 通過控制器, 監控運算數據盡可能的保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200. 渦輪分子泵 HiPace 1200 通訊接口 RS-485, 遠程遙控(Profibus/DeviceNet 備詢), 多種配件供客戶選擇.

渦輪分子泵 HiPace 1200 特性
對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認證
防護等級 IP 54, 符合工業環境應用要求
監控運算數據盡可能的保證分子泵的安全性
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節流閥和閥門的集成凈化氣體系統


渦輪分子泵 HiPace1200 抽速

渦輪分子泵 HIPace1200 尺寸圖

分子泵應用 HiPace 1200:
鍍膜: LED, 光伏, 硬盤鍍膜, 硬質涂層, 卷繞鍍膜, 光學鍍膜, CD / DVD / PVD
工業: 醫學技術, 電子束焊接, 隔離真空, 燈管制造
研發: 聚變研究,  等離子研究, 模擬空間站, 基本粒子物理學, 生物技術
半導體: PVD, CVD, Beamline, MBE

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