上海伯東代理美國原裝進口 KRI 線性離子源使用 eH 400 做為模組, 能應用于寬范圍的襯底, 離子源長度高達 1 米, 通過嚴格調整模組間的距離可以實現佳的均勻性和離子流. 由于模組是平行放置, 大大簡化了氣體, 功率和電子三者的分布. KRI 線性離子源使用標準的端部霍爾模組并使設備的需求簡化, 一個低成本, 高電流和低能量的離子束可以很好的使用于 web 涂層, in-line 沉積和圓柱旋轉濺射系統.
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型號
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eHL400-2/
eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5
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供電
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DC magnetic
confinement
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- 電壓
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40-200V VDC
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- 陽極結構
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模塊化
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電源控制
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eHL-30010A
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配置
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-
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- 陰極中和器
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Filamentless
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- 離子束發散角度
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> 45°
(hwhm)
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- 陽極
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標準或 Grooved
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- 底座
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移動或快接法蘭
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- 高度
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10 cm
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寬度
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10 cm
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- 長度
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~ 100cm
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-工藝氣體
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Ar, Xe, Kr,
O2, N2, Others
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