3MFC40電子氟化液
3M氟化液FC-40是無色透明全氟化學品，具有良好的化學惰性、電氣絕緣性能、熱傳導性和的表面張力應用于半導體制造廠作為熱傳導介質。其液體溫度范圍為-57°C 至 155°C，主要應用于蝕刻設備、離子注入設備、測試設備及其他設備。因為FC-40是單一組分，所以其成分不好出現降解或者過期。FC-40沸點高，其隨時間的揮發也比較少。
1、載冷劑在工作溫度下應處于液體狀態；其凝固溫度應**工作溫度，沸點應**工作溫度；
2、熱容要大；
3、密度小；
4、粘度小；化學的穩定性好。對設備和管道無腐蝕；
5、載冷劑應不燃燒、爆炸、無毒，對人體無害。
