ADTEC射頻電源維修AX-2000III;等離子電源維修;鍍膜電源維修AX-600III
射頻電源設備維修包括:刻蝕,RIE,PECVD,ICP,射頻濺射,CVD和PVD等系統,CPSΜ射頻電源匹配器及RF射頻電源發生器維修。
應用范圍:主要服務于太陽能光伏、PVD鍍膜,半導體薄膜、離子注入、刻蝕,平板顯示,光盤、光電子LED等制造工藝以及科研院校、研究所等設備的高壓、直流、射頻電源。主要包括高壓電源HV PSU、射頻電源RFG、匹配網絡RF Match、直流電源DC POWER、微波發生器等,提供設備維護維修保養整包、批量產品維修。
RF MATCH射頻匹配器維修范圍有ADVANCED射頻電源匹配器;ASTEX射頻電源匹配器;NP射頻電源匹配器;ASTECH射頻電源匹配器;SEREN射頻電源匹配器;射頻電源匹配器;KYOSAN射頻電源匹配器;ENI射頻電源匹配器;DAIHEN射頻電源匹配器;射頻電源匹配器;TRAZAR射頻電源匹配器維修等
主營業務:提供維修服務
一、維修真空濺射鍍膜設備、等離子清洗設備、真空貼合機、設備上的電控部件:射頻電源、射頻器、靶材電源、高壓電源、微波電源、磁控濺射電源、中頻電源、高頻電源、遠程等離子體源、霍爾離子源、脈沖電源、直流電源、氧化源電源、特種電源、匹配器、膜厚儀等。
Adtec射頻電源匹配器維修控制器RF-CHASER AS-502B